功率器件TCAD仿真-叁,微电子与集成电路

功率器件TCAD仿真-叁

功率器件的开发主要集中在工艺方面，但在紧迫的半导体行业中，各种组合的流片、封装、测试和验证可能会耗尽所有资源。因此，为了提高项目开发效率，仿真工具变得至关重要。

对于有意学习TCAD（热、电和机械分析）软件的读者，无论是出于实验室研究还是职业需求，可以选择两个主要阵营：Silvaco和Synopsys。大多数学校使用SDE工具进行图样建模，而在工作环境中，通常更倾向于使用Synopsys的sprocess工具进行工艺仿真。接下来，我们将简要介绍Synopsys TCAD的入门指南。

初学者可以从官方提供的《Training》文档入手，里面有丰富的示例，跟随说明就能快速上手。《帮助》文档提供全面的资料，但不需通读，只需根据实际工作需要查阅即可。此外，软件自带的示例文件夹，如sprocess、sde和sdevice，也提供了官方示例，适当修改即可满足日常仿真需求。

sprocess工艺仿真建模工具是基于流片工艺的建模，需要具备一定的半导体工艺知识。通过流片菜单来进行初步建模，但实际仿真与实际流片之间可能存在差异，因此需要进行校准。校准方法多种多样，欢迎业界专家分享独特技巧。

在获得器件模型后，下一步是获取所需的电性参数。sdevice工具用于电性仿真，支持电流扫描、电压扫描和自定义电路测试。在学习过程中，可以参考官方文档，有语言障碍的朋友也可以查阅相关文章或视频。sdevice的部分调整相对较少，掌握关键调整方法即可。

总之，TCAD仿真工具在功率器件的开发中扮演着关键角色，通过学习与实践，可以显著提高项目效率。在学习过程中，善用搜索工具，会带来更大的帮助。

Silvaco TCAD 虚拟制造-制造流程(11)

离子注入工艺在半导体制造中至关重要，它通过精确控制束流、注入时间和能量，实现对杂质浓度和结深的精细调节，并生成非均匀的杂质分布。该技术广泛应用于注入n型或p型杂质及H离子等，并且可用于制造SOI晶圆。然而，离子注入引起的晶格损伤需要通过退火处理来修复，退火方式包括炉管退火和RTP快速热处理。

在CMOS中，离子注入工艺有明确要求，主要包括阱注入、调阈值Vt注入、LDD注入、源漏注入、防穿通注入、Halo注入、预损伤注入、孔内注入等。阱注入对器件性能影响明显，可以通过多次注入控制不同深度的浓度，调阈值注入用于调整器件的开启电压，LDD注入则用于防止热载流子效应。源漏注入用于形成欧姆接触，降低接触电阻，而防穿通和Halo注入则用以保证器件正常工作。

对于功率器件，如IGBT和快恢复二极管，注入技术更加细致，包括轻离子注入来优化载流子寿命和恢复时间，及特殊的孔内注入和Halo注入。SOI晶圆的制作依赖于离子注入，包括两块晶圆键合和重氧离子注入两种方法。

总体而言，离子注入工艺是半导体制造的核心技术，其多样化应用和精细控制能力在现代芯片制造中不可或缺，同时也是许多公司的重要专利保护内容。

微电子与集成电路

楼主你好，我是西电集成专业的。关于西电的微电子和集成，简单说一下。

总体来看，在本科阶段这两个专业的差别并不大。学习的主线是：数学方面，包括高数、线代、概率论和复变函数等；物理方面，包括大学物理、量子力学（集成专业涉及较浅）、电磁场等，这些都是基础课程。完成这些课程后，就可以学习专业基础课，例如半导体物理、数字电路、模拟电路等，后续还有硅工艺制造、数字集成电路设计基础、模拟CMOS基础、射频等课程。至于官方网站的介绍，通常会夸大其辞，其实学的内容也就是这些：使用Cadence进行布局布线，Hspice仿电路，NC编写代码，ND进行综合，使用Silvaco仿真材料参数等。

在研究生阶段，这两个专业的差别可能会比较大。

关于就业（我选择继续读研，所以对就业情况了解不多，敬请见谅），集成和微电子专业的本科学习差不多，毕业证上的字样不同，但大体上大家的背景也相似。因此，本科生在就业时，许多人会选择销售、技术支持、软件开发，甚至走向版图设计（这个技术含量确实不高），只有一小部分人会从事电路设计。同时也会有一些晶圆厂招聘，比如华润微电子和中芯国际等。整体来看，目前国内对电子行业的需求量很大，就业机会较好。

此外，本科生毕业后去研究所也是一种选择。研究所提供多种研究方向，如电路、薄膜、功率器件和光电等。

关于就业，短期内还是相对有优势的。12年毕业的本科生，平均工资大约在4500左右（经济不景气，前一年平均在5500左右），不同地区和个人有所差异。我记得当年第一个来我学院招人的深圳小设计公司，年薪为12W，招录了一位微电子专业的同学，这个薪资算是不错，毕竟是刚毕业的。不过这只是开始，融入社会后，要依靠个人努力（不算富二代）。

西电虽然是211院校，但并非985。成电是985且实力强劲，近几年发展也快于西电。

对于本科生来说，主要应关注学校和专业的排名，因为本科阶段学习的是基础知识，不涉及具体的研究方向。而研究生阶段还要考虑其他因素。例如，西电的微电子有一个国家重点实验室，西电在氮化镓研究方面很强，而中科院在光电方向做得比较好。当然，地域条件也值得关注，西安的空气质量较差，治安问题较为突出，而南方沿海城市可能更加娇气。南京同样存在环境问题。

这几年，集成和微电子专业十分热门，分数线普遍上涨。建议楼主查找全国各个设有集成微电子专业学校近几年的录取分数。强烈建议考得好不如报的好！在分数条件相同的基础上，选择最合适的学校和专业。多打听，多询问，并多进行实地考察，定能找到合适的大学和专业。祝楼主顺利选择自己理想的大学和专业！